НИИМЭ провел секцию «Микро- и наноэлектроника» всероссийской научной конференции МФТИ
29.11.2018
В период с 19 по 26 ноября ведущий технический вуз России – Московский физико-технический институт (МФТИ ГУ) при поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации провел 61-ю всероссийскую научную конференцию. 21 ноября в рамках конференции в НИИМЭ была проведена секция «Микро- и наноэлектроника», на которой было заслушано 14 тематических докладов студентов базовой кафедры НИИМЭ в МФТИ.
На открытии секции с приветственным словом выступил академик РАН, генеральный директор АО «НИИМЭ», руководитель базовой кафедры «Микро- и наноэлектроника» в МФТИ Г.Я. Красников.
Программный комитет конференции представили председатель секции, заместитель заведующего кафедры «Микро- и наноэлектроника» МФТИ, д.т.н., проф. Горнев Е.С., заместитель председателя д.ф-м.н проф. Итальянцев А.Г., к.ф-м.н. Матюшкин И.В., к.т.н. Орлов О.М., к.т.н. Плотников Ю.И., к.ф-м.н. Захаров П.С., Баранов Г.В., Иванов В.В., секретарь секции аспирант Четвериков В.А.
В работе секции приняли участие не только студенты базовой кафедры НИИМЭ в МФТИ, но и представители НПК «Технологический центр», а также студенты НИУ МИЭТ.
По результатам голосования программным комитетом были объявлены победители:
• доклад Кожевникова В. С. на тему «Метод оценки функции надёжности наноразмерных приборов с применением аналога уравнения непрерывности»,
• доклад Харченко Е.Л. на тему «Методика изменения OPC-рецепта для H-транзисторов»
• доклад Миннуллина Р.Т. на тему «Компьютерный расчет многократного рассеяния ТЕ поляризованных волн на одномерных дифракционных решетках методом матричного уравнения Риккати»
• доклад Шамина Е.С. на тему «Разработка средства расстановки SRAF для технологии 90нм»
• доклад Кузовкова А.В. на тему «Автоматическая расстановка кристаллов в поле фотошаблона с учётом ограничений технологии»
• доклад Жевненко Д.А. на тему «Расчет характеристик приборов на основе планарных электрохимических преобразователей»
• доклад Титовой Е.И. на тему «Спектроскопия плазмонного резонанса в графене»
• доклад Шарапов А.А. на тему «Сравнительный анализ параметров шероховатости электронных резистов при проявлении структур Si микроэлектроники»
Работа секции в НИИМЭ позволила получить информацию от докладчиков о результатах их научной работы, а также стала площадкой для обучения студентов и аспирантов кафедры выступлениям на открытых слушаниях, ведению научных дискуссий. Общий уровень докладов в рамках секции был достаточно высокий. По итогам заслушанных докладов по теме «Корректировка оптической близости» в 1 квартале 2019 года будет проведен научный семинар на базе работ НИИМЭ с привлечением заинтересованных научных организаций, планируется издание сборника научных работ по этой тематике.
Программный комитет секции рекомендовал для публикации в сборнике «Труды МФТИ» 13 докладов в начале 2019 года. Сборник имеет высокую цитируемость и пользуется авторитетом не только в нашей стране, но и за рубежом.
Авторам докладов Шамину Е.С. и Кузовкову А.В. программный комитет рекомендовал подать заявки на патентную регистрацию разработанного программного обеспечения.
Также по итогам конференции предложено провести научный семинар по проектированию фотошаблонов и подготовить сборник статей под редакцией Горнева Е.С., Панкратова А.Л., Иванова В.В.
На открытии секции с приветственным словом выступил академик РАН, генеральный директор АО «НИИМЭ», руководитель базовой кафедры «Микро- и наноэлектроника» в МФТИ Г.Я. Красников.
Программный комитет конференции представили председатель секции, заместитель заведующего кафедры «Микро- и наноэлектроника» МФТИ, д.т.н., проф. Горнев Е.С., заместитель председателя д.ф-м.н проф. Итальянцев А.Г., к.ф-м.н. Матюшкин И.В., к.т.н. Орлов О.М., к.т.н. Плотников Ю.И., к.ф-м.н. Захаров П.С., Баранов Г.В., Иванов В.В., секретарь секции аспирант Четвериков В.А.
В работе секции приняли участие не только студенты базовой кафедры НИИМЭ в МФТИ, но и представители НПК «Технологический центр», а также студенты НИУ МИЭТ.
По результатам голосования программным комитетом были объявлены победители:
• доклад Кожевникова В. С. на тему «Метод оценки функции надёжности наноразмерных приборов с применением аналога уравнения непрерывности»,
• доклад Харченко Е.Л. на тему «Методика изменения OPC-рецепта для H-транзисторов»
• доклад Миннуллина Р.Т. на тему «Компьютерный расчет многократного рассеяния ТЕ поляризованных волн на одномерных дифракционных решетках методом матричного уравнения Риккати»
• доклад Шамина Е.С. на тему «Разработка средства расстановки SRAF для технологии 90нм»
• доклад Кузовкова А.В. на тему «Автоматическая расстановка кристаллов в поле фотошаблона с учётом ограничений технологии»
• доклад Жевненко Д.А. на тему «Расчет характеристик приборов на основе планарных электрохимических преобразователей»
• доклад Титовой Е.И. на тему «Спектроскопия плазмонного резонанса в графене»
• доклад Шарапов А.А. на тему «Сравнительный анализ параметров шероховатости электронных резистов при проявлении структур Si микроэлектроники»
Работа секции в НИИМЭ позволила получить информацию от докладчиков о результатах их научной работы, а также стала площадкой для обучения студентов и аспирантов кафедры выступлениям на открытых слушаниях, ведению научных дискуссий. Общий уровень докладов в рамках секции был достаточно высокий. По итогам заслушанных докладов по теме «Корректировка оптической близости» в 1 квартале 2019 года будет проведен научный семинар на базе работ НИИМЭ с привлечением заинтересованных научных организаций, планируется издание сборника научных работ по этой тематике.
Программный комитет секции рекомендовал для публикации в сборнике «Труды МФТИ» 13 докладов в начале 2019 года. Сборник имеет высокую цитируемость и пользуется авторитетом не только в нашей стране, но и за рубежом.
Авторам докладов Шамину Е.С. и Кузовкову А.В. программный комитет рекомендовал подать заявки на патентную регистрацию разработанного программного обеспечения.
Также по итогам конференции предложено провести научный семинар по проектированию фотошаблонов и подготовить сборник статей под редакцией Горнева Е.С., Панкратова А.Л., Иванова В.В.