Научный семинар «Коррекция оптической близости в литографии»

Научный семинар «Коррекция оптической близости в литографии»

23.01.2019

30 января в АО «НИИМЭ» под председательством академика, члена Президиума РАН, генерального директора АО «НИИМЭ» Г.Я. Красникова состоится научный семинар «Коррекция оптической близости в литографии».

Семинар организован Научным советом РАН «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания» совместно с Консорциумом «Перспективные материалы и элементная база информационных и вычислительных систем»

С докладами выступят представители ИПТМ РАН, ИФМ РАН, НИИМЭ и других организаций.

Начало мероприятия в 11:00.

Место проведения: Москва, Зеленоград, 1-й Западный пр-д, д. 12, стр. 1, 4-й этаж, зал заседаний НТС.

Для участия в семинаре необходимы предварительная заявка и паспорт.

Заявки на участие просьба присылать ученому секретарю Научного совета Олегу Тельминову по электронной почте otelminov@niime.ru не позднее 29 января.

 

 

 

 

Другие события

01.03.2019
27 марта в РТУ МИРЭА состоится заседание Научного совета и научный семинар «Системы металлизации»




06.02.2019
27 февраля в ИРЭ им. В.А. Котельникова РАН под председательством академика, члена Президиума РАН, генерального директора АО «НИИМЭ» Г.Я. Красникова состоится научный семинар «Элементная база СБИС: транзисторные структуры».

23.01.2019
30 января в АО «НИИМЭ» состоится научный семинар «Коррекция оптической близости в литографии»

12.11.2018
26 ноября 2018 г. в помещении Президиума РАН  состоится научная сессия под руководством  академика, члена Президиума РАН, генерального директора АО «НИИМЭ» Г.Я. Красникова