В АО «НИИМЭ» прошла работа секции микроэлектроники 60-ой Научной конференции МФТИ
23.11.2017
23 ноября в АО «НИИМЭ» в рамках 60-ой Научной конференции МФТИ прошла работа секции микроэлектроники. Студенты и аспиранты
Московского физико-технического института, Национального исследовательского университета «Московский институт электронной техники», Физико-технологического института РАН и др. выступили с тематическими докладами.
Жюри в составе председателя секции д.т.н. профессора Е.С. Горнева, заместителя председателя: д.ф.-м.н. профессора А.Г. Итальянцева, к.ф.-м.н. доцента И.В. Матюшкина, начальника лаборатории топологии В.В. Иванова, секретаря секции аспиранта А.С. Бенедиктова определило победителей:
Бакалавры:
- доклад А.А. Шарапова (МФТИ) на тему «Сравнительный анализ методов измерения количественных характеристик шероховатости наноразмерных структур», научный руководитель д.ф.-м н. профессор А.Г. Итальянцев
- доклад В.С, Ерушевич (МИЭТ) на тему «Разработка маршрута аттестации OPC-решений при переходе на новую версию программного обеспечения» научный руководитель А.Л. Панкратов
Магистры:
- доклад Е.Л. Харченко (МИЭТ) на тему «Методика оптимизации источника освещения в фотолитографии», научный руководитель А.Л. Панкратов
- доклад Р.Т. Миннуллина (МФТИ) на тему «Компьютерный расчет рассеяния ТЕ поляризованных волн на одномерных дифракционных решетках методом матричных уравнений Риккати», научный руководитель д.ф-м н. профессор А.Г. Итальянцев
- доклад Е.В. Кузнецовой (МФТИ) на тему «Моделирование методом Монте-Карло образования вторичных электронов в кристаллическом кремнии» научный руководитель д.т.н. профессор Е.С. Горнев (консультант Гущин О.П.)
- доклад Д.А. Жевненко (МФТИ) на тему «Вклад различных механизмов переноса ионов в электрический ток в планарных электрохимических преобразователях», научный руководитель д.т.н. профессор Горнев Е.С.
Аспиранты:
- доклад Г.С. Теплова (аспирантура МФТИ ) на тему «Математическая модель конечного автомата абстрактного нейрона» научный руководитель д.т.н. профессор Е.С. Горнев
- доклад Ф.А. Сидорова (аспирантура ФТИАН ) на тему «Механизмы снижения латерального разрешения в методе сухого электронно-лучевого травления резиста»
28 ноября состоялось вручение победителям дипломов и призов .
Московского физико-технического института, Национального исследовательского университета «Московский институт электронной техники», Физико-технологического института РАН и др. выступили с тематическими докладами.
Жюри в составе председателя секции д.т.н. профессора Е.С. Горнева, заместителя председателя: д.ф.-м.н. профессора А.Г. Итальянцева, к.ф.-м.н. доцента И.В. Матюшкина, начальника лаборатории топологии В.В. Иванова, секретаря секции аспиранта А.С. Бенедиктова определило победителей:
Бакалавры:
- доклад А.А. Шарапова (МФТИ) на тему «Сравнительный анализ методов измерения количественных характеристик шероховатости наноразмерных структур», научный руководитель д.ф.-м н. профессор А.Г. Итальянцев
- доклад В.С, Ерушевич (МИЭТ) на тему «Разработка маршрута аттестации OPC-решений при переходе на новую версию программного обеспечения» научный руководитель А.Л. Панкратов
Магистры:
- доклад Е.Л. Харченко (МИЭТ) на тему «Методика оптимизации источника освещения в фотолитографии», научный руководитель А.Л. Панкратов
- доклад Р.Т. Миннуллина (МФТИ) на тему «Компьютерный расчет рассеяния ТЕ поляризованных волн на одномерных дифракционных решетках методом матричных уравнений Риккати», научный руководитель д.ф-м н. профессор А.Г. Итальянцев
- доклад Е.В. Кузнецовой (МФТИ) на тему «Моделирование методом Монте-Карло образования вторичных электронов в кристаллическом кремнии» научный руководитель д.т.н. профессор Е.С. Горнев (консультант Гущин О.П.)
- доклад Д.А. Жевненко (МФТИ) на тему «Вклад различных механизмов переноса ионов в электрический ток в планарных электрохимических преобразователях», научный руководитель д.т.н. профессор Горнев Е.С.
Аспиранты:
- доклад Г.С. Теплова (аспирантура МФТИ ) на тему «Математическая модель конечного автомата абстрактного нейрона» научный руководитель д.т.н. профессор Е.С. Горнев
- доклад Ф.А. Сидорова (аспирантура ФТИАН ) на тему «Механизмы снижения латерального разрешения в методе сухого электронно-лучевого травления резиста»
28 ноября состоялось вручение победителям дипломов и призов .