Заведующий кафедрой

Красников Геннадий Яковлевич – президент Российской академии наук, академик РАН, д.т.н., проф., почётный профессор МФТИ, руководитель приоритетного технологического направления Российской Федерации по электронным технологиям, генеральный директор АО «НИИМЭ». Учёный в области физики полупроводников, полупроводниковых приборов, технологии создания сверхбольших интегральных схем и проблем обеспечения качества их промышленного производства.

Г.Я. Красников cоздал научные и технологические основы формирования полупроводниковых структур с управляемыми и стабильными электрофизическими параметрами, а также выявил закономерности неравновесных процессов в переходных областях границ раздела систем «кремний — диоксид кремния — металл» на всём технологическом маршруте изготовления интегральных микросхем. Автор и соавтор более 400 научных работ в российских и зарубежных рецензируемых изданиях, 4 научных монографий и более 40 авторских свидетельств и патентов.

Г.Я. Красников – лауреат государственной премии РФ в области науки и технологии, 3 премий Правительства РФ в области науки и техники. Награжден орденом «За заслуги перед Отечеством» III степени, орденом Александра Невского, орденом Почёта, орденом Дружбы, орденом Славы III степени республики Мордовия, медалью ЮНЕСКО «За вклад в развитие нанонауки и нанотехнологий». Отмечен личными благодарностями президента РФ, председателя Правительства РФ, руководителей федеральных органов исполнительной власти, губернаторов ряда регионов РФ.

Заместитель заведующего кафедрой

Горнев Евгений Сергеевич – член-корреспондент РАН, д.т.н., проф., почетный профессор МФТИ, лауреат государственной премии СССР, кавалер ордена Дружбы народов, дважды лауреат премии Правительства РФ в области науки и техники. Ведущий специалист в области микро- и наноэлектроники, в частности, метрологического обеспечения измерений длины в микро- и нанометровом диапазонах.

Горнев Е.С. обобщил, научно обосновал и разработал технические решения для создания современного микроэлектронного производства, на основе чего создал модель промышленной субмикронной технологии как системы и систему управления микроэлектронным производством; разработал решения многовариантной технологии КМОП, биполярных и БиКМОП на базе универсального маршрута; создал систему управления на основе мониторинга техпроцесса, контроля дефектности и методов статистического регулирования; создал методы контроля линейных размеров элементов СБИС микро- и нанометрового диапазонов и универсальную линейную меру мирового уровня; создал более 40 различных вариантов технологий, разработал и одновременно постановил на производство более 50 типов микросхем, модернизировал более 100 типов, организовал производство 87 серий микросхем, в т.ч., в Польше; разработал промышленную технологию сегнетоэлектрических плёнок для изделий пьезотехники, акустоэлектроники, совместимых с технологиями микро- и наноэлектроники и МЭМС. Автор и соавтор более 300 научных работ, в т.ч., одной монографии и 3 учебных пособий, 42 авторских свидетельств и патентов. 

+7 (495) 229-55-70

egornev@niime.ru

Секретарь кафедры
Беляев Алексей Юрьевич

тел.: 8(495) 229-70-94
E-mail: albelyaev@niime.ru

За всё время существования с 2011 г. кафедрой подготовлено более 170 специалистов в области микро- и наноэлектроники. Выпускники кафедры – высококвалифицированные специалисты полупроводниковой индустрии. Уровень подготовки специалистов отвечает высоким международным стандартам. Уникальная образовательная программа, национальные и международные конференции и другие мероприятия для обмена опытом с ведущими учеными в области современной микроэлектроники позволяют молодым специалистам успешно интегрироваться в научно-исследовательские проекты на базе АО «НИИМЭ» еще в процессе обучения.

Кафедрой оказывается значительная научно-методическая и материальная поддержка исследований студентов, магистрантов и аспирантов с целью получения ими степени кандидата физико-математических наук. С момента первого приёма в аспирантуру в 2013 г. успешно защитили кандидатскую диссертацию 9 выпускников. После защиты выпускники получают возможность возглавить собственное исследовательское подразделение в компании.

Обучение почти 40 студентов бакалавриата, магистратуры и аспирантуры кафедры ведут 16 преподавателей, из них 5 профессоров – докторов наук, 8 доцентов – кандидатов наук. Кроме того, в штат кафедры входит 14 научных руководителей и 9 консультантов – сотрудников АО «НИИМЭ». 

Магистерская программа ориентирована на подготовку высококвалифицированных специалистов, способных работать с самыми современными процессами микроэлектроники в сфере организации и проведения теоретических и экспериментальных исследований полупроводниковых микро- и наноструктур, а также в сферах моделирования, разработки и применения микро- и наноэлектронных схем и технологических процессов их создания по самым современным направлениям микроэлектроники. 

Работа технолога в чистой комнате

Основные направления исследований и разработок:

Направления подготовки студентов

Бакалавриат	03.03.01 Прикладные математика и физика
Магистратура	03.04.01 Прикладные математика и физика 11.04.04 Электроника и наноэлектроника
Аспирантура	2.2 Электроника, фотоника, приборостроение и связь

Учебные курсы кафедры

Основные направления подготовки на кафедре микро- и наноэлектроники продолжают комплекс фундаментального образования Физтеха

4 курс  10 семестровых дисциплин, среди них:	5 курс 15 семестровых дисциплин, среди них:	6 курс 4 семестровые дисциплины, среди них:
Физика полупроводниковых приборов	Физика процессов в монокристаллическом кремнии	Фотонные интегральные схемы
Моделирование физических систем на   Python	Моделирование наносистем, клеточные   автоматы	Квантово-химическое моделирование в Quantum Espresso
Метрологический анализ производственных  процессов	Технологические процессы формирования   интегральных структур	Современные проблемы микро- и   наноэлектроники
Цифровая и аналоговая схемотехника с практикой на демонстрационной плате	Нанооптика и искусственные метаматериалы

Поддержка обучающихся на кафедре

При приеме на работу студентов 4 курса МФТИ назначаются на должность «техник» с окладом от 28 750 руб. Студенты 5 и 6 курса переводятся на должность «младший научный сотрудник» в подразделения научно-исследовательского института. Стартовые условия оплаты труда магистров 5 и 6 курса составляют 40 000 руб. При переходе в аспирантуру сотрудники получают повышение должности до позиции «научный сотрудник» с зарплатой 60 000 руб. на 1-2 годах обучения и 100 000 руб. на 3-4 годах обучения.

В компании реализована система поощрения сотрудников, за решение научных задач в рамках текущих НИОКР, публикации в научных журналах и сборниках тезисов российских и международных конференций, а также за результаты интеллектуальной деятельности, оформленные в виде патентов на изобретения или программного обеспечения, прошедшего процедуру государственной регистрации. Студентам предоставляется компенсация на оплату жилья в Зеленограде или на аренду автотранспорта для поездок между кампусом МФТИ и Зеленоградом.

Публикационная активность

За 11 лет работы кафедры студенты и аспиранты кафедры представили более 700 докладов на конференциях и выпустили более 500 публикаций в международных и российских журналах. Ежегодно студенты и аспиранты базовой кафедры микро- и наноэлектроники МФТИ представляют более 100 докладов на 20 научно-технических конференциях и публикуют порядка 30 статей в отечественных и зарубежных журналах, успешно участвуют в конкурсах технологических проектов:

• Photonics North, IEEE
• Nanophotonics and Micro/Nano Optics International Conference, Париж
• International Conference on Materials Engineering and Nano Sciences, Таиланд
• International School and Conference on Photonics, Сербия
• New Trends in Nonequilibrium Stochastic Multistable Systems and Memristors, Италия
• International Conference on Solid State Devices and Materials, Tokyo
• International Conference on Micro- & Nanoelectornics, ФТИАН им. Валиева
• International School and Conference “Saint Petersburg OPEN”, СПбАУ им. Алфёрова
• Micromachines (Q2)
• Journal of Vacuum Science & Technology A (Q2)
• Physica Status Solidi (B): Basic Research (Q3)
• ACS Applied Electronic Materials (Q1)
• Journal of Physics: Conference Series (Q3)
• Всероссийский научный форум «Наука будущего – наука молодых»
• Международный конкурс научно-технических проектов INRADEL, АО «ЦНИИ Электроника», Минпромторг РФ
• Российско-китайский конкурс индустриальных инноваций
• Конкурс бизнес-идей, научно-технических разработок и научно-исследовательских проектов Комитета по науке и высшей школе Санкт-Петербурга

Мероприятия базовой кафедры

1) Конференция МФТИ: секция микро- и наноэлектроники

Организуется базовой кафедрой ежегодно с 2015 г.

Заслушивается более 30 докладов студентов и аспирантов базовой кафедры ФЭФМ МФТИ, а также выступают участники из НИУ МИЭТ, РТУ МИРЭА, НИТУ МИСИС и др.

2) Школа молодых учёных «Микроэлектроника»

Организуется каждый год с 2019 г. отделением нанотехнологий и информационных технологий РАН, Научным советом ОНИТ РАН, консорциумом ««Перспективные материалы и элементная база информационных и вычислительных систем» и базовой кафедрой микро- и наноэлектроники.

С 2019 г. в ежегодной Школе молодых учёных приняли участие более 500 студентов, магистрантов, аспирантов, молодых учёных и лидеров научных направлений.