Базовые кафедры
Кафедра «Микро- и наноэлектроника»
в МФТИ
В век наукоемких технологий микроэлектроника является одним из самых динамично развивающихся и качественно меняющихся направлений науки и техники, оказывающих глубокое влияние на жизнь и развитие общества в целом. Микроэлектронная отрасль России способствует эффективному решению самых сложных экономических, научных, технических и технологических проблем, стоящих сегодня перед страной.
Кафедра «микро- и наноэлектроники» представляет собой учебный и научно-исследовательский центр по подготовке высококвалифицированных специалистов в области микроэлектроники, способных работать с самыми современными процессами.
Заведующий кафедрой: Красников Геннадий Яковлевич – президент Российской академии наук, академик РАН, д.т.н., проф., почётный профессор МФТИ, руководитель приоритетного технологического направления Российской Федерации по электронным технологиям.
Заместитель заведующего кафедрой – Горнев Евгений Сергеевич – академик РАН, д.т.н., проф., почетный профессор МФТИ, лауреат государственной премии СССР, кавалер ордена Дружбы народов, дважды лауреат премии Правительства РФ в области науки и техники.
Базовая кафедра осуществляет в соответствии с учебным планом проведение всех видов учебных занятий по закрепленным за ней учебным дисциплинам, организацию и проведение научных исследований и практик обучающихся, руководство проведением научно-исследовательских выпускных квалификационных работ, научно-квалификационных работ (диссертаций) и научных докладов по результатам подготовленных аспирантами и соискателями диссертаций, проведение текущего контроля успеваемости, проведение промежуточной и итоговой аттестации обучающихся.
Учебные курсы ведут 17 преподавателей, из них 2 академика РАН, 7 профессоров- докторов наук, 10 доцентов- кандидатов наук, а также 28 научных руководителей и 10 консультантов – ведущих специалистов АО «НИИМЭ».
Основные направления подготовки на кафедре продолжают комплекс фундаментального образования Физтеха. Студенты кафедры успешно совмещают образовательный процесс в МФТИ с научно-практической деятельностью в АО «НИИМЭ». Все студенты и аспиранты кафедры принимают участие в НИОКР, в том числе работах в рамках госзаказов, которые ведутся в подразделениях АО «НИИМЭ».
При приеме на работу студенты 4 курса МФТИ назначаются на должность «техник», а студенты 5 и 6 курса переводятся на должность «младший научный сотрудник». В институте реализована система поощрения сотрудников, за решение научных задач в рамках текущих НИОКР, публикации в научных журналах и сборниках тезисов российских и международных конференций, а также за результаты интеллектуальной деятельности, оформленные в виде патентов на изобретения или программного обеспечения, прошедшего процедуру государственной регистрации. Студентам предоставляется компенсация на оплату жилья в Зеленограде или на аренду автотранспорта для поездок между кампусом МФТИ и Зеленоградом.
Направления исследований и разработок научных коллективов кафедры
Магистерская программа ориентирована на подготовку высококвалифицированных специалистов, способных работать с самыми современными процессами микроэлектроники в сфере организации и проведения теоретических и экспериментальных исследований полупроводниковых микро- и наноструктур, а также в сферах моделирования, разработки и применения микро- и наноэлектронных схем и технологических процессов их создания по самым современным направлениям микроэлектроники.
1. Перспективные технологические процессы микро- и наноэлектроники:
- Разработка технологий атомно-слоевого осаждения и атомно-слоевого травления на уровне суб-10-нм;
- Разработка технологии формирования системы металлизации для проектных норм 22 нм и менее;
- Разработка технологий самосовмещённого роста материалов на ограниченных участках поверхности для формирования трёхмерных структур при переходе к технологическим нормам ниже 14 нм;
- Разработка технологий на основе обеднённого КНИ (FD-SOI) для технологического маршрута уровня 28 нм;
- Разработка отечественных особо чистых материалов и химических реагентов для технологических процессов микроэлектроники, создание методик анализа твёрдых, жидких и газообразных веществ и стабильности технологических сред, обеспечивающих контроль чистоты на уровне ppt и ppq;
- Разработка фотолитографических материалов для взрывной литографии и для рентгеновской литографии.
2. Машинное обучение и анализ больших данных:
- Создание методов для прогнозирования отказов, выявления аномалий и оптимизации параметров технологических процессов;
- Создание базы данных по параметрам надёжности и инструментов интеграции результатов испытаний, моделирования и мониторинга для построения цифрового двойника технологических процессов микроэлектроники.
3. Вычислительная литография:
- Разработка алгоритмических и технологических методов повышения разрешения, включая коррекцию дизайна (OPC, SRAF), оптимизацию формы источника (SMO), применение дифракционных оптических элементов (ДОЭ) и кратной литографии (multipatterning);
- Исследование физико-химических процессов и построение процессных моделей фотолитографии для ускорения разработки новых фотолитографических материалов для уровня 90 нм и ниже.
4. СВЧ и силовая электроника:
- Создание силовых приборов на основе широкозонных полупроводников (SiC, GaN и др.) для изготовления перспективной высоковольтной (1000+ В) ЭКБ;
- Создание фотодетекторов УФ излучения (включая солнечно-слепой диапазон) на основе Ga2O3 и др. специализированной ЭКБ на основе сложных полупроводниковых соединений;
- Технология кремниевых TSV-интерпозеров с необходимыми средствами проектирования для систем в корпусе, в т.ч., многокристальных СВЧ модулей для миниатюризации приёмо-передающих модулей фазированных антенных решёток.
5. Интегральная фотоника:
- Исследование физических основ нанофотоники и наноплазмоники для определения подходов к уменьшению габаритов фотонных интегральных схем;
- Создание собственных программных реализаций расчётных алгоритмов из первых принципов, расширяющих функциональность стандартных сред моделирования и таким образом обеспечивающих возможность моделирования комплексных фотонных интегральных схем;
- Исследование и моделирование оптических квантовых чипов, операций и состояний для квантовых вычислений на фотонной платформе, включая разработку высокоточных моделей с учётом технологических неидеальностей, квантовых шумов и процессов декогеренции.
- Разработка малогабаритного фотонного газового сенсора водорода и других веществ на базе микрокольцевых резонаторов, обеспечивающего высокую чувствительность и селективность при низком энергопотреблении.
6. Энергонезависимая память:
- Создание устройств энергонезависимой памяти (FeRAM, ReRAM, SONOS/TANOS, MRAM), обладающих улучшенной стойкостью и большим ресурсом переключения.
7. Сенсорика:
- Разработка интегральной сенсорной платформы на основе мультимодовых акустических волн (поверхностных, объёмных и волн Лэмба) для экспресс-диагностики жидких сред;
- Разработка пассивных и активных радиометок для идентификации объектов в системах мониторинга и Интернета вещей;
- Исследование и создание на основе метаматериалов адаптивных радиооптических систем, способных формировать и воспринимать пространственные электромагнитные поля для задач радиолокации, связи и позиционирования.
Выпускники кафедры
За всё время существования с 2011 г. кафедрой подготовлено более 200 специалистов в области микро- и наноэлектроники. Выпускники кафедры – высококвалифицированные специалисты полупроводниковой индустрии. Уровень подготовки специалистов отвечает высоким международным стандартам. Уникальная образовательная программа, национальные и международные конференции и другие мероприятия для обмена опытом с ведущими учеными в области современной микроэлектроники позволяют молодым специалистам успешно интегрироваться в научно-исследовательские проекты на базе АО «НИИМЭ» еще в процессе обучения. В 2025 г. диплом бакалавра получили 16 человек, диплом магистра восемь человек. Пять человек закончили аспирантуру и успешно защитили научные доклады.
Ежегодно студенты и аспиранты базовой кафедры микро- и наноэлектроники МФТИ представляют более 100 докладов на 20 научно-технических конференциях и публикуют порядка 30 статей в отечественных и зарубежных журналах, успешно участвуют в конкурсах технологических проектов.
Кафедрой оказывается значительная научно-методическая и материальная поддержка исследований студентов, магистрантов и аспирантов с целью получения ими степени кандидата наук. С момента создания кафедры в 2011 г. и первого приёма в аспирантуру в 2013 г. успешно защитили кандидатскую диссертацию 30 выпускников.
Кафедра «Субмикронная технология
СБИС» в МИЭТ
В 1998 году приказом ректора МИЭТ была создана базовая кафедра НИИМЭ «Субмикронная технология СБИС» как структурное учебно-научное подразделение факультета «Электроника и компьютерные технологии».
Кафедру возглавляет генеральный директор АО «НИИМЭ» Кравцов Александр Сергеевич, к.т.н., лауреат Премии Правительства Российской Федерации в области науки и техники 2015 г. и 2023 г.
Подготовка студентов на базовой кафедре НИИМЭ в МИЭТе предусматривает изучение факультативных специальных дисциплин, прохождение учебно-ознакомительной, производственной, преддипломной и научно-исследовательской практик и выполнение курсовых и дипломных проектов.
Тематика курсов обучения и организация практической подготовки студентов МИЭТ позволяют в определенной мере исключить разрыв между базовой вузовской подготовкой выпускников и комплексом знаний, необходимым специалистам современного производства.
Основные направления подготовки студентов, магистров и аспирантов кафедры:
- микроэлектроника и твердотельная электроника
- микросистемная техника
- системы автоматизированного проектирования
- нанотехнология в электронике
- микроэлектроника и полупроводниковые приборы
- электроника и микроэлектроника
- технология и проектирование интегральных микросхем
- микро- и наноэлектроника
- системы автоматизации проектирования
- твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
Целевой набор
Целевое обучение обеспечивает студенту постепенную интеграцию в профессиональное сообщество, адаптацию в коллективе, к будущей специальности и гарантированное трудоустройство.
Преимущества целевого обучения в НИИМЭ:
- Отдельный конкурс на поступление;
- Закрепление на практику;
- Возможность проходить стажировку с 1 курса;
- Материальная поддержка от предприятия на весь период обучения.
Ежегодно НИИМЭ проводит более ста профориентационных и научно-просветительских мероприятий как в вузах, так и в самом НИИ. Мы стремимся формировать научно-инженерное мышление школьников и студентов, вовлекая их в исследовательскую деятельность: от проведения школьных техноквизов до конкурсов проектных работ учащихся под руководством молодых специалистов предприятия.
Задать вопросы о целевом обучении:
Ведущий специалист Группы развития персонала -
Белякова Александра abelyakova@niime.ru.
Практики и стажировки
Учебный центр НИИМЭ играет важную роль в передаче знаний между поколениями учёных и специалистов. На базе НИИ реализована уникальная возможность профессионального роста в таких ключевых направлениях как микроэлектроника, материаловедение, нанотехнологии, программирование.
Ежегодно около 150 студентов проходят практику и стажировку. Наставниками студентов, стремящихся принять участие в развитии отечественной микроэлектроники, являются молодые специалисты. Они сопровождают студентов во время работы над реальными проектами.
Направления, по которым возможно прохождение стажировки и практики:
- Нанотехнологии: Электроника и наноэлектроника, Наноинженерия, Нанотехнологии и микросистемная техника, Наноматериалы;
- Технологии материалов: Материаловедение и технологии материалов;
- Программирование: Прикладная информатика, Информационные системы и технологии, Информатика и вычислительная техника, Прикладная математика и информатика, Программная инженерия, Математическое обеспечение и администрирование информационных систем, Прикладная информатика в экономике, Фундаментальная информатика и информационные технологии, Прикладная математика, Математика и компьютерные науки, Разработка программно-информационных систем, Математическое моделирование и вычислительная математика, Вычислительные машины, комплексы, системы и сети;
- Электроника и приборостроение: Приборостроение, Конструирование и технология электронных средств, Фотоника и оптоинформатика; Радиотехнические средства передачи, приема и обработки сигналов;
- Математика и физика: Физика, Радиофизика, Механика и математическое моделирование, Техническая физика, Прикладные математика и физика, Химия, физика и механика материалов, Фундаментальная физика, Фундаментальная и прикладная физика
На стажировку могут претендовать студенты 3 курса и старше. На практику приглашаются студенты профильных направлений подготовки согласно учебному плану. Приветствуется наличие собственных проектов, разработок, призовых мест в конкурсах и на олимпиадах.
Подать заявку на стажировку и практику:
Ведущий специалист Группы развития персонала -
Белякова Александра
abelyakova@niime.ru.
Повышение квалификации
Учебный центр НИИМЭ
Направления деятельности:
- реализация программ повышения квалификации и профессиональной переподготовки для инженерно-технического и производственного персонала в сфере микро- и наноэлектроники;
- подготовка отраслевых специалистов к профессиональному экзамену на основе профстандартов и требований законодательства;
- разработка образовательных программ под заказ в партнёрстве с ведущими инженерными центрами (на основе уникальных авторских материалов, научных и практических разработок);
- реализация обязательного обучения в области гражданской обороны (ГО) и защиты от чрезвычайных ситуаций (ЧС), пожарно-технической подготовки и оказания первой помощи;
- языковая подготовка по техническому английскому и техническому китайскому с носителями языка;
- проведение научно-просветительских и профориентационных мероприятий среди молодежи (ВУЗы, СПО, школы).
По окончании обучения выпускники получают официальный документ с занесением в федеральный реестр сведений о документах об образовании и (или) о квалификации: удостоверение о повышении квалификации, диплом о профессиональной переподготовке, сертификат.
Обучение реализуется в различных форматах: очно, очно-заочно, в том числе с использованием электронных и дистанционных образовательных технологий. Значительная часть образовательных программ практикоориентирована и проводится на площадке Учебного центра НИИМЭ (Зеленоград), в лабораториях и на экспериментальных участках. Все программы доступны в индивидуальном и корпоративном формате.
Образовательные программы
Наши программы повышения квалификации и переподготовки созданы на основе профстандартов, учитывают требования законодательства к квалификации специалистов в микроэлектроники и наноиндустрии.
Направления образовательных программ:
- Микроэлектроника и нанотехнологии;
- Обязательное обучение;
- Программы по формированию универсальных компетенций;
- Языковая подготовка.
Подробнее об Учебном центре НИИМЭ.
Каталог проектов и программ Учебного центра НИИМЭ.
Сведения об образовательной организации
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники» (АО «НИИМЭ») основано 20 июля 2011 года. Лицензия на осуществление образовательной деятельности получена 8 сентября 2020 года. Образовательная деятельность реализуется в структурном подразделении АО «НИИМЭ» - Учебном центре.
Руководство Учебного центра НИИМЭ:
Поликарпова Лилиана Владимировна,
заместитель генерального директора по организационному развитию и управлению персоналом
Садкова Наталья Владимировна,
директор по развитию профессионального образования
Место нахождения и контакты Учебного центра НИИМЭ:
124460, Россия, Москва, Зеленоград, ул. Академика Валиева, 6/1.
Контактный телефон: +7 (495) 229-72-41.
Адрес электронной почты: edu@niime.ru.
Адрес сайта: https://www.educenter-niime.ru/.
Центр оценки квалификации
Центр оценки квалификаций (ЦОК) — первый в России центр оценки уровня квалификаций в области микроэлектроники и нанотехнологий. Аккредитован в двух Советах по профессиональным квалификациям в сфере нанотехнологий и микроэлектроники, а также в области промышленной электроники и приборостроения. Это позволяет проводить оценку в более широком спектре квалификаций и гарантирует соответствие результатов требованиям лидеров отрасли.
- 25 профстандартов
- 77 квалификаций
- 63 технических эксперта
- Более 100 экзаменов в год, включая программу «Вход в профессию» для студентов
В 2025 году ЦОК НИИМЭ стал ключевым исполнителем государственного заказа Департамента образования г. Москвы по независимой оценке квалификации студентов вузов, обучающихся по образовательным программам в сфере микро- и наноэлектроники. В рамках проекта была организована независимая оценка квалификации 140 студентов из 8 партнёрских вузов.
Подробнее о деятельности ЦОК НИИМЭ
Перечень квалификаций в сфере нанотехнологий и микроэлектроники
Перечень квалификаций в области промышленной электроники и приборостроения
Вакансии
Работа в НИИМЭ – это возможность стать частью команды профессионалов, получить уникальный опыт в создании высокоточного технологического оборудования и чистой химии, разработке технологий и перспективных видов продукции.
Наша команда – это:
- более 900 специалистов высокой квалификации;
- 70 кандидатов и докторов наук;
- три академика Российской академии наук (РАН);
- 89 обладателей 134 государственных и отраслевых наград, знаков отличия в труде и лауреатов научных премий;
- средний возраст – 41 год;
- доля молодых специалистов более 40%.
В НИИМЭ есть все необходимые условия для профессионального становления и успешного бэкграунда развития микроэлектроники в стране.