Заседание Научного совета Отделения нанотехнологий и информационных технологий
04.04.2024
27 марта в Российской академии наук очно и в формате видеоконференции состоялось заседание Научного совета Отделения нанотехнологий и информационных технологий (далее - ОНИТ РАН) «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания» по теме «Технологическое оборудование и технологии».
В заседании Совета приняли участие 28 из 52 членов Бюро и членов Научного совета ОНИТ РАН, а также приглашенные ученых и специалисты – всего 186 человек из 98 предприятий, организаций и учреждений. В обсуждении повестки участвовало 32 человека.
Во вступительном слове при открытии заседания председатель Совета, научный руководитель АО «НИИМЭ», академик РАН Г.Я. Красников, отметил важную роль синергетического возрождения электронного машиностроения, научного и аналитического приборостроения, станкостроения.
В.В.Пивень (Минпромторг России) сообщил о задачах по достижению технологического суверенитета электронной промышленности согласно утвержденным «Основам реализации государственной политики в сфере радиоэлектронной и электронной промышленности».
Член-корр. РАН Е.С.Горнев (АО «НИИМЭ) подчеркнул, что возможность самостоятельного развития отечественной микроэлектронной промышленности определяется необходимостью разработки и производства всего комплекса материалов, оборудования и САПР для разработки и производства изделий микроэлектроники.
Были заслушаны следующие доклады:
• к.т.н. Плебанович Владимир Иванович (ОАО «Планар» (КБТЭМ)): «Оптико-механическое оборудование научно-производственного холдинга точного машиностроения «Планар»;
• к.т.н. Исаев Антон Алексеевич, Петренко Яков Игоревич (АО «МНТЦ МИЭТ»): «Развитие технологического оборудования в парадигме Комплексной программы развития электронного машиностроения»;
• д.т.н. Бородин Алексей Владимирович (АО «ЭЗАН»), член-корр. РАН Бородин Владимир Алексеевич (АО «ЭЗАН», ИФТТ РАН), к.ф.-м.н. Юдин Михаил Викторович (АО «ЭЗАН»): «Карбид кремния: получение монокристаллов, производство эпитаксиальных пластин и автоэпитаксия»;
• член-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович, д.ф.-м.н. Николайчик Владимир Иванович, к.ф.-м.н. Казьмирук Вячеслав Васильевич (ИПТМ РАН), к.ф.-м.н. Веретенников Александр Владимирович (АО «ЭЗАН»): «Состояние и перспективы разработок в области растровой электронной микроскопии»;
• к.т.н. Бирюков Михаил Георгиевич, Костюков Денис Андреевич (АО НИИТМ): «Разработка и внедрение линейки перспективного оборудования для КМОП и GaN- технологий»;
• д.т.н. Ковалев Анатолий Андреевич (АО «ЗНТЦ»): «Отечественное оборудование для фотолитографии: состояние и перспективы развития»;
• Хисамов Айрат Хамитович (ГК «Стратегические нанотехнологии»): «Эволюция технологического оборудования для производства микроэлектроники: история и перспективы»;
• к.х.н. Карандашев Василий Константинович (ИПТМ РАН): «Современное состояние метода масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой»;
• к.ф.-м.н. Алексеев Алексей Николаевич (АО «НТО», Ассоциация «Электронное машиностроение»): «Разработка и производство специального технологического оборудования для СВЧ и оптоэлектроники»;
• д.т.н. Быков Виктор Александрович (ООО «НТ-МДТ С.И.», ООО «НТ-МДТ», ООО «НОР»), Быков Андрей Викторович, Быков Андрей Андреевич (ООО «НТ-МДТ»), к.ф.-м.н. Бобров Юрий Александрович (ООО «НТ-МДТ С.И.»), Котов Владимир Владимирович (ООО «НТ-МДТ»), к.т.н. Леесмент Станислав Игоревич, к.т.н. Поляков Вячеслав Викторович (ООО «НТ-МДТ С.И.»): «Актуальные решения атомно-силовой микроскопии и спектроскопии для применений в науке и промышленности от микро-и наноэлектроники до биологии и медицины от NT-MDT»;
• д.ф.-м.н. Зайцев Сергей Иванович, к.ф.-м.н. Князев Максим Александрович, член- корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович, к.ф.-м.н. Свинцов Александр Александрович (ИПТМ РАН): «Электронно-лучевая и ионно-лучевая литографии на основе аппаратно-программного комплекса НАНОМЕЙКЕР: последние результаты и перспективы»;
• д.т.н. Бородин Алексей Владимирович (АО «ЭЗАН»), член-корр. РАН Бородин Владимир Алексеевич (АО «ЭЗАН», ИФТТ РАН): «Текущее состояние и перспективы развития АО ЭЗАН в разработке и производстве технологического оборудования и его компонентов для ЭКБ».
При подведении итогов заседания заместитель председателя Совета, заместитель руководителя приоритетного технологического направления АО «НИИМЭ», член-корр. РАН Е.С.Горнев выразил уверенность в усилении сотрудничества между организациями и предприятиями в области совершенствования разработки и производства технологического оборудования и разработки соответствующих технологий.
В заседании Совета приняли участие 28 из 52 членов Бюро и членов Научного совета ОНИТ РАН, а также приглашенные ученых и специалисты – всего 186 человек из 98 предприятий, организаций и учреждений. В обсуждении повестки участвовало 32 человека.
Во вступительном слове при открытии заседания председатель Совета, научный руководитель АО «НИИМЭ», академик РАН Г.Я. Красников, отметил важную роль синергетического возрождения электронного машиностроения, научного и аналитического приборостроения, станкостроения.
В.В.Пивень (Минпромторг России) сообщил о задачах по достижению технологического суверенитета электронной промышленности согласно утвержденным «Основам реализации государственной политики в сфере радиоэлектронной и электронной промышленности».
Член-корр. РАН Е.С.Горнев (АО «НИИМЭ) подчеркнул, что возможность самостоятельного развития отечественной микроэлектронной промышленности определяется необходимостью разработки и производства всего комплекса материалов, оборудования и САПР для разработки и производства изделий микроэлектроники.
Были заслушаны следующие доклады:
• к.т.н. Плебанович Владимир Иванович (ОАО «Планар» (КБТЭМ)): «Оптико-механическое оборудование научно-производственного холдинга точного машиностроения «Планар»;
• к.т.н. Исаев Антон Алексеевич, Петренко Яков Игоревич (АО «МНТЦ МИЭТ»): «Развитие технологического оборудования в парадигме Комплексной программы развития электронного машиностроения»;
• д.т.н. Бородин Алексей Владимирович (АО «ЭЗАН»), член-корр. РАН Бородин Владимир Алексеевич (АО «ЭЗАН», ИФТТ РАН), к.ф.-м.н. Юдин Михаил Викторович (АО «ЭЗАН»): «Карбид кремния: получение монокристаллов, производство эпитаксиальных пластин и автоэпитаксия»;
• член-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович, д.ф.-м.н. Николайчик Владимир Иванович, к.ф.-м.н. Казьмирук Вячеслав Васильевич (ИПТМ РАН), к.ф.-м.н. Веретенников Александр Владимирович (АО «ЭЗАН»): «Состояние и перспективы разработок в области растровой электронной микроскопии»;
• к.т.н. Бирюков Михаил Георгиевич, Костюков Денис Андреевич (АО НИИТМ): «Разработка и внедрение линейки перспективного оборудования для КМОП и GaN- технологий»;
• д.т.н. Ковалев Анатолий Андреевич (АО «ЗНТЦ»): «Отечественное оборудование для фотолитографии: состояние и перспективы развития»;
• Хисамов Айрат Хамитович (ГК «Стратегические нанотехнологии»): «Эволюция технологического оборудования для производства микроэлектроники: история и перспективы»;
• к.х.н. Карандашев Василий Константинович (ИПТМ РАН): «Современное состояние метода масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой»;
• к.ф.-м.н. Алексеев Алексей Николаевич (АО «НТО», Ассоциация «Электронное машиностроение»): «Разработка и производство специального технологического оборудования для СВЧ и оптоэлектроники»;
• д.т.н. Быков Виктор Александрович (ООО «НТ-МДТ С.И.», ООО «НТ-МДТ», ООО «НОР»), Быков Андрей Викторович, Быков Андрей Андреевич (ООО «НТ-МДТ»), к.ф.-м.н. Бобров Юрий Александрович (ООО «НТ-МДТ С.И.»), Котов Владимир Владимирович (ООО «НТ-МДТ»), к.т.н. Леесмент Станислав Игоревич, к.т.н. Поляков Вячеслав Викторович (ООО «НТ-МДТ С.И.»): «Актуальные решения атомно-силовой микроскопии и спектроскопии для применений в науке и промышленности от микро-и наноэлектроники до биологии и медицины от NT-MDT»;
• д.ф.-м.н. Зайцев Сергей Иванович, к.ф.-м.н. Князев Максим Александрович, член- корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович, к.ф.-м.н. Свинцов Александр Александрович (ИПТМ РАН): «Электронно-лучевая и ионно-лучевая литографии на основе аппаратно-программного комплекса НАНОМЕЙКЕР: последние результаты и перспективы»;
• д.т.н. Бородин Алексей Владимирович (АО «ЭЗАН»), член-корр. РАН Бородин Владимир Алексеевич (АО «ЭЗАН», ИФТТ РАН): «Текущее состояние и перспективы развития АО ЭЗАН в разработке и производстве технологического оборудования и его компонентов для ЭКБ».
При подведении итогов заседания заместитель председателя Совета, заместитель руководителя приоритетного технологического направления АО «НИИМЭ», член-корр. РАН Е.С.Горнев выразил уверенность в усилении сотрудничества между организациями и предприятиями в области совершенствования разработки и производства технологического оборудования и разработки соответствующих технологий.