Продукты

Центр коллективного пользования «Выполнение оптической фазовой коррекции топологии микросхем и проектирование фотошаблонов»

Создан 02.07.2018 г. на базе АО «НИИМЭ» (http://www.niime.ru, 124460, Россия, Москва, Зеленоград, ул. Академика Валиева, 6/1).

Руководитель ЦКП: Лукошко Геннадий Константинович
тел: +7(916)130-91-86
e-mail: glukoshko@niime.ru

Направления научных исследований, проводимых в ЦКП:
Разработка и сопровождение комплектов средств проектирования фотошаблонов;
Входной контроль топологической информации, поступающей от заказчиков, на соответствие правилам проектирования, согласование возможных отклонений от правил проектирования;
Проведение оптической коррекции топологии микросхем в соответствии с требованиями производства;
Проведение операций фазовой коррекции топологии микросхем для фотошаблонов с фазовым сдвигом в соответствии с требованиями производства;
Проектирование фотошаблонов;
Подготовка управляющей информации для изготовления фотошаблонов;
Подготовка высококвалифицированных специалистов, повышение квалификации и переподготовка специалистов в своей области;
Разработка и сопровождение комплектов средств проектирования фотошаблонов.

Приоритетные направления (указ Президента РФ N 899): Индустрия наносистем
Приоритетные направления Стратегии НТР (п. 20): цифровые технологии, роботизированные системы, новые материалы, большие данные, машинное обучение, искусственный интеллект

Услуги ЦКП:

Входной контроль топологической информации на соответствие правилам проектирования. 
Входной контроль топологической информации, поступающей от заказчиков на соответствие правилам проектирования. Согласование возможных отклонений от правил проектирования.

Проектирование кадра изображения мультипроектных фотошаблонов
Проектирование кадра изображения мультипроектных фотошаблонов

Проектирование фотошаблонов для производства микросхем
Подготовка управляющей информации для изготовления фотошаблонов

Разработка и сопровождение комплектов средств проектирования фотошаблонов
Разработка и сопровождение комплектов средств проектирования фотошаблонов