Под руководством Г. Я. Красникова прошло заседание Научного совета ОНИТ РАН
29.03.2024
27 марта в Российской академии наук очно и в формате видеоконференции состоялось заседание Научного совета ОНИТ РАН «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания» по теме: «Технологическое оборудование и технологии».
Во вступительном слове Председатель Совета, президент РАН, научный руководитель АО «НИИМЭ» академик РАН Г. Я. Красников отметил важную роль синергетического возрождения электронного машиностроения, научного и аналитического приборостроения, станкостроения.
Было заслушано 14 докладов:
1. Пивень Валерий Вячеславович (Минпромторг России). Госполитика по возрождению отечественного электронного машиностроения.
2. член-корр. РАН Горнев Евгений Сергеевич (АО «НИИМЭ»). Варианты решения проблемы обеспечения технологическим оборудованием.
3. к.т.н. Плебанович Владимир Иванович (ОАО «Планар» (КБТЭМ)). Оптико-механическое оборудование научно-производственного холдинга точного машиностроения «Планар».
4. к.т.н. Исаев Антон Алексеевич, Петренко Яков Игоревич (АО «МНТЦ МИЭТ»). Развитие технологического оборудования в парадигме Комплексной программы развития электронного машиностроения.
5. д.т.н., Бородин Алексей Владимирович (АО «ЭЗАН»), член-корр. РАН Бородин Владимир Алексеевич (АО «ЭЗАН», ИФТТ РАН), к.ф.-м.н. Юдин Михаил Викторович (АО «ЭЗАН»). Кабрид крмения: получения монокристаллов, производство эпитаксиальных пластин и автоэпитаксия.
6. член-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович, д.ф.-м.н. Николайчик Владимир Иванович, к.ф.-м.н. Казьмирук Вячеслав Васильевич (ИПТМ РАН), к.ф.-м.н. Веретенников Александр Владимирович (АО «ЭЗАН»). Состояние и перспективы разработок в области растровой электронной микроскопии.
7. к.т.н. Бирюков Михаил Георгиевич, Костюков Денис Андреевич (АО НИИТМ). Разработка и внедрение линейки перспективного оборудования для КМОП и GaN-технологий.
8. д.т.н. Ковалев Анатолий Андреевич (АО «ЗНТЦ»). Отечественное оборудование для фотолитографии: состояние и перспективы развития.
9. Хисамов Айрат Хамитович (ГК «Стратегические нанотехнологии»). Эволюция технологического оборудования для производства микроэлектроники: история и перспективы.
10. к.х.н. Карандашев Василий Константинович (ИПТМ РАН). Современное состояние метода месс-спектроскопии с индуктивно связанной плазмой.
11. к.ф.-м.н. Алексеев Алексей Николаевич (АО «НТО», Ассоциация «Электронное машиностроение»). Разработка и производство специального технологического оборудования для СВЧ и оптоэлектроники.
12. д.т.н. Быков Виктор Александрович (ООО «НТ-МДТ С.И.», ООО «НТ-МДТ», ООО «НОР»), Быков Андрей Викторович, Быков Андрей Андреевич (ООО «НТ-МДТ», к.ф.-м.н. Бобров Юрий Александрович (ООО «НТ-МДТ С.И.»), Котов Владимир Владимирович (ООО «НТ-МДТ»), к.т.н. Леесмент Станислав Игоревич, к.т.н. Поляков Вячеслав Викторович (ООО «НТ-МДТ»). Актуальные решения атомно-силовой микроскопии и спектроскопии для применений в науке и промышленности от микро- и наноэлектроники до биологии и медицины от NT-MDT.
13. д.ф.-м.н. Зайцев Сергей Иванович, к.ф.-м.н. Князев Максим Александрович, член-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович, к.ф.-м.н. Свинцов Александр Александрович (ИПТМ РАН). Электронно-лучевая и ионно-лучевая литографии на основе аппаратно-программного комплекса НАНОМЕЙКЕР: последние результаты и перспективы.
14. д.т.н. Бородин Алексей Владимирович (АО «ЭЗАН»), член-корр. РАН Бородин Владимир Алексеевич (АО «ЭЗАН», ИФТТ РАН). Текущее состояние и перспективы развития АО ЭЗАН в разработке и производстве технологического оборудования и его компонентов для ЭКБ.
Заслушанные доклады и их обсуждение приняты к сведению. Департаменту станкостроения и тяжелого машиностроения Минпромторга России выданы рекомендации по корректировке «Комплексной программы развития электронного машиностроения до 2030 года» (утверждена приказом Минпромторга России от 23 декабря 2022 г. № 5470), а также по организации разработки отдельной научно-технической программы для создания EUV-литографа и соответствующей технологии.
При подведении итогов заседания заместитель председателя совета, заместитель руководителя приоритетного технологического направления АО «НИИМЭ», член-корр. РАН Е. С. Горнев выразил уверенность в усилении сотрудничества между организациями и предприятиями в области совершенствования разработки и производства технологического оборудования и разработки соответствующих технологий.
Во вступительном слове Председатель Совета, президент РАН, научный руководитель АО «НИИМЭ» академик РАН Г. Я. Красников отметил важную роль синергетического возрождения электронного машиностроения, научного и аналитического приборостроения, станкостроения.
Было заслушано 14 докладов:
1. Пивень Валерий Вячеславович (Минпромторг России). Госполитика по возрождению отечественного электронного машиностроения.
2. член-корр. РАН Горнев Евгений Сергеевич (АО «НИИМЭ»). Варианты решения проблемы обеспечения технологическим оборудованием.
3. к.т.н. Плебанович Владимир Иванович (ОАО «Планар» (КБТЭМ)). Оптико-механическое оборудование научно-производственного холдинга точного машиностроения «Планар».
4. к.т.н. Исаев Антон Алексеевич, Петренко Яков Игоревич (АО «МНТЦ МИЭТ»). Развитие технологического оборудования в парадигме Комплексной программы развития электронного машиностроения.
5. д.т.н., Бородин Алексей Владимирович (АО «ЭЗАН»), член-корр. РАН Бородин Владимир Алексеевич (АО «ЭЗАН», ИФТТ РАН), к.ф.-м.н. Юдин Михаил Викторович (АО «ЭЗАН»). Кабрид крмения: получения монокристаллов, производство эпитаксиальных пластин и автоэпитаксия.
6. член-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович, д.ф.-м.н. Николайчик Владимир Иванович, к.ф.-м.н. Казьмирук Вячеслав Васильевич (ИПТМ РАН), к.ф.-м.н. Веретенников Александр Владимирович (АО «ЭЗАН»). Состояние и перспективы разработок в области растровой электронной микроскопии.
7. к.т.н. Бирюков Михаил Георгиевич, Костюков Денис Андреевич (АО НИИТМ). Разработка и внедрение линейки перспективного оборудования для КМОП и GaN-технологий.
8. д.т.н. Ковалев Анатолий Андреевич (АО «ЗНТЦ»). Отечественное оборудование для фотолитографии: состояние и перспективы развития.
9. Хисамов Айрат Хамитович (ГК «Стратегические нанотехнологии»). Эволюция технологического оборудования для производства микроэлектроники: история и перспективы.
10. к.х.н. Карандашев Василий Константинович (ИПТМ РАН). Современное состояние метода месс-спектроскопии с индуктивно связанной плазмой.
11. к.ф.-м.н. Алексеев Алексей Николаевич (АО «НТО», Ассоциация «Электронное машиностроение»). Разработка и производство специального технологического оборудования для СВЧ и оптоэлектроники.
12. д.т.н. Быков Виктор Александрович (ООО «НТ-МДТ С.И.», ООО «НТ-МДТ», ООО «НОР»), Быков Андрей Викторович, Быков Андрей Андреевич (ООО «НТ-МДТ», к.ф.-м.н. Бобров Юрий Александрович (ООО «НТ-МДТ С.И.»), Котов Владимир Владимирович (ООО «НТ-МДТ»), к.т.н. Леесмент Станислав Игоревич, к.т.н. Поляков Вячеслав Викторович (ООО «НТ-МДТ»). Актуальные решения атомно-силовой микроскопии и спектроскопии для применений в науке и промышленности от микро- и наноэлектроники до биологии и медицины от NT-MDT.
13. д.ф.-м.н. Зайцев Сергей Иванович, к.ф.-м.н. Князев Максим Александрович, член-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович, к.ф.-м.н. Свинцов Александр Александрович (ИПТМ РАН). Электронно-лучевая и ионно-лучевая литографии на основе аппаратно-программного комплекса НАНОМЕЙКЕР: последние результаты и перспективы.
14. д.т.н. Бородин Алексей Владимирович (АО «ЭЗАН»), член-корр. РАН Бородин Владимир Алексеевич (АО «ЭЗАН», ИФТТ РАН). Текущее состояние и перспективы развития АО ЭЗАН в разработке и производстве технологического оборудования и его компонентов для ЭКБ.
Заслушанные доклады и их обсуждение приняты к сведению. Департаменту станкостроения и тяжелого машиностроения Минпромторга России выданы рекомендации по корректировке «Комплексной программы развития электронного машиностроения до 2030 года» (утверждена приказом Минпромторга России от 23 декабря 2022 г. № 5470), а также по организации разработки отдельной научно-технической программы для создания EUV-литографа и соответствующей технологии.
При подведении итогов заседания заместитель председателя совета, заместитель руководителя приоритетного технологического направления АО «НИИМЭ», член-корр. РАН Е. С. Горнев выразил уверенность в усилении сотрудничества между организациями и предприятиями в области совершенствования разработки и производства технологического оборудования и разработки соответствующих технологий.