С Днем космонавтики!
Разработки НИИМЭ испытаны космосом
10.04.2026
← Вернуться
Анонс заседания НС ОНИТ РАН
Анонс заседания Научного Совета ОНИТ РАН
Во вторник 10 марта 2026 г с 10:00 научный руководитель НИИМЭ, президент РАН академик РАН Г.Я. Красников проводит заседание Научного совета ОНИТ РАН «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания» по теме «Перспективы литографии: технологии, оборудование, материалы и аналитика».
Адрес: Москва, Ленинский пр-т, 32А, здание РАН, корпус Г, 3 этаж, Синий зал. Формат участия смешанный: очный или дистанционный (онлайн).
Регистрация: до 12:00ч 5 марта 2026г (четверг) по электронной почте ученого секретаря Совета Тельминова Олега Александровича: otelminov@niime.ru
ПРОГРАММА ЗАСЕДАНИЯ СОВЕТА
10:00-10:05 Академик РАН Красников Геннадий Яковлевич (Президиум РАН). Открытие заседания.
10:05-10:15 (1) очно Пивень Валерий Вячеславович (Минпромторг России). Вступительное слово.
10:15-10:45 (2) очно д.т.н. Ковалев Анатолий Андреевич (АО «ЗНТЦ»). Научно-технические решения при локализации производства литографических степперов (350–90 нм).
10:45-11:15 (3) очно чл.-корр. РАН Иванов Виктор Владимирович, к.т.н. Поляков Вячеслав Викторович (МФТИ). Электронно-лучевой литограф высокого разрешения с гауссовым пучком.
11:15-11:45 (4) очно д.ф.-м.н. Зайцев Сергей Иванович, к.ф.-м.н. Свинцов Александр Александрович, к.ф.-м.н. Шабельникова Яна Леонидовна, чл.-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович (ИПТМ РАН). Ионно-лучевая нанолитография — будущая основа технологии производства фотошаблонов и прямого рисования заказных микросхем.
11:45-12:15 (5) очно к.ф.-м.н. Казьмирук Вячеслав Васильевич (ИПТМ РАН). Электронно-оптическая система литографа с гауссовым пучком.
12:15-12:45 (6) очно профессор Витухновский Алексей Григорьевич, к.ф.-м.н. Грициенко Александр Владимирович (МФТИ, ФИАН), к.ф.-м.н. Колымагин Данила Анатольевич (МФТИ). 3D двухфотонная литография и наноимпринт.
12:45-13:15 (7) очно чл.-корр. РАН Чхало Николай Иванович (ИФМ РАН – филиал ИПФ РАН). Состояние дел по проекту рентгеновского литографа на длину волны 11,2 нм.
13:15-13:45 (8) очно чл.-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович (ИПТМ РАН). Наноимпринтинг, резисты и перспективы применения электронно-лучевой литографии для формирования низкоразмерных структур и фотошаблонов для рентгеновской и фотолитографии.
13:45-14:15 (9) очно к.т.н. Аникин Андрей Владимирович (НТЦ ФШ НИУ МИЭТ). Проект по созданию центра по изготовлению фотошаблонов с проектными нормами 90-65-28 нм на базе НИУ МИЭТ.
14:15-14:45 (10) академик РАН Горнев Евгений Сергеевич (АО «НИИМЭ», РАН), к.ф.-м.н. Иванов Владимир Викторович (АО «НИИМЭ»). Вычислительная литография.
14:45-15:00 Общая дискуссия. Подведение итогов заседания Научного совета.
Во вторник 10 марта 2026 г с 10:00 научный руководитель НИИМЭ, президент РАН академик РАН Г.Я. Красников проводит заседание Научного совета ОНИТ РАН «Фундаментальные проблемы элементной базы информационно-вычислительных и управляющих систем и материалов для ее создания» по теме «Перспективы литографии: технологии, оборудование, материалы и аналитика».
Адрес: Москва, Ленинский пр-т, 32А, здание РАН, корпус Г, 3 этаж, Синий зал. Формат участия смешанный: очный или дистанционный (онлайн).
Регистрация: до 12:00ч 5 марта 2026г (четверг) по электронной почте ученого секретаря Совета Тельминова Олега Александровича: otelminov@niime.ru
ПРОГРАММА ЗАСЕДАНИЯ СОВЕТА
10:00-10:05 Академик РАН Красников Геннадий Яковлевич (Президиум РАН). Открытие заседания.
10:05-10:15 (1) очно Пивень Валерий Вячеславович (Минпромторг России). Вступительное слово.
10:15-10:45 (2) очно д.т.н. Ковалев Анатолий Андреевич (АО «ЗНТЦ»). Научно-технические решения при локализации производства литографических степперов (350–90 нм).
10:45-11:15 (3) очно чл.-корр. РАН Иванов Виктор Владимирович, к.т.н. Поляков Вячеслав Викторович (МФТИ). Электронно-лучевой литограф высокого разрешения с гауссовым пучком.
11:15-11:45 (4) очно д.ф.-м.н. Зайцев Сергей Иванович, к.ф.-м.н. Свинцов Александр Александрович, к.ф.-м.н. Шабельникова Яна Леонидовна, чл.-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович (ИПТМ РАН). Ионно-лучевая нанолитография — будущая основа технологии производства фотошаблонов и прямого рисования заказных микросхем.
11:45-12:15 (5) очно к.ф.-м.н. Казьмирук Вячеслав Васильевич (ИПТМ РАН). Электронно-оптическая система литографа с гауссовым пучком.
12:15-12:45 (6) очно профессор Витухновский Алексей Григорьевич, к.ф.-м.н. Грициенко Александр Владимирович (МФТИ, ФИАН), к.ф.-м.н. Колымагин Данила Анатольевич (МФТИ). 3D двухфотонная литография и наноимпринт.
12:45-13:15 (7) очно чл.-корр. РАН Чхало Николай Иванович (ИФМ РАН – филиал ИПФ РАН). Состояние дел по проекту рентгеновского литографа на длину волны 11,2 нм.
13:15-13:45 (8) очно чл.-корр. РАН Рощупкин Дмитрий Валентинович (ИПТМ РАН). Наноимпринтинг, резисты и перспективы применения электронно-лучевой литографии для формирования низкоразмерных структур и фотошаблонов для рентгеновской и фотолитографии.
13:45-14:15 (9) очно к.т.н. Аникин Андрей Владимирович (НТЦ ФШ НИУ МИЭТ). Проект по созданию центра по изготовлению фотошаблонов с проектными нормами 90-65-28 нм на базе НИУ МИЭТ.
14:15-14:45 (10) академик РАН Горнев Евгений Сергеевич (АО «НИИМЭ», РАН), к.ф.-м.н. Иванов Владимир Викторович (АО «НИИМЭ»). Вычислительная литография.
14:45-15:00 Общая дискуссия. Подведение итогов заседания Научного совета.
