Вице-премьер Денис Мантуров посетил с рабочим визитом НИИМЭ и НИИТМ
Заместитель Председателя Правительства – глава Минпромторга Денис Мантуров в сопровождении Президента РАН, генерального директора АО «НИИМЭ» академика РАН Геннадия Красникова посетил с рабочим визитом Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ) и Научно-исследовательский институт точного машиностроения (НИИТМ).
Генеральный директор АО «НИИТМ» Михаил Бирюков продемонстрировал вице-премьеру разработанное институтом специальное технологическое оборудование атомарно-слоевого осаждения, а также отечественные установки плазмохимического травления для топологических норм 180–90 нанометров.
В НИИМЭ вице-премьер ознакомился с работой единственной в России физико-химической аналитической лаборатории для проведения исследований в области контроля качества технологических сред. «В мире действуют единицы подобных лабораторий, в Европе — не более трех. Лаборатория занимается сертифицированием материалов, необходимых для организации производства в микроэлектронной, фармацевтической, химической, биотехнологической и других отраслях промышленности, составлением технических требований и рекомендаций к их использованию, разработкой уникальных методик аттестации», - отметил заместитель генерального директора - главный конструктор НИИМЭ Александр Кравцов.
Также в рамках визита Денису Мантурову продемонстрировали разработанное в рамках субсидии Минпромторга России на НИОКР оборудование и процесс серийного изготовления отечественных материалов для микроэлектронного производства.
В лаборатории перспективных технологических процессов НИИМЭ делегация осмотрела уникальное специальное технологическое оборудование атомарно-слоевого осаждения разработки НИИТМ, которое используется при создании технологии производства сегнетоэлектрической энергонезависимой памяти. Лаборатория занимается исследованиями и разработками новых технологий микроэлектроники, а также внедрением новых материалов в производство.
