НИИМЭ ОРГАНИЗУЕТ КОНФЕРЕНЦИЮ "МИКРО- И НАНОЭЛЕКТРОНИКА – 2016" (ICMNE-2016)
АО «НИИМЭ» стал соорганизатором Международной конференции "Микро- и наноэлектроника – 2016" (ICMNE-2016), включающей расширенную сессию "Квантовая информатика" (QI-2016), которая пройдет 3-6 октября 2016 года в подмосковном д/о "Ершово" под Звенигородом.
Конференция ICMNE продолжает серию Всероссийских конференций и проводится один раз в два года, охватывая наиболее важные области физики и технологии приборов микро- и наноэлектроники, а также квантовой информатики. На конференции также будет работать выставка, посвященная технологическому и диагностическому оборудованию для микро- и наноэлектроники.
Тематика конференции:
Материалы и пленки для микро- и наноэлектронных структур:
· Si, SOI, DOI, SiGe, A3B5, A2B6
· High-k диэлектрики, low-k диэлектрики
· Металлы для затворов, контактов и систем металлизации наноразмерных приборов
· Магнитные материалы, наномагнетики
· 1D и 2D материалы
· Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы
Физика микро- и наноразмерных приборов:
· Тенденции масштабирования: More Moore, beyond CMOS, and more than Moore trends
· Нанотранзисторы: CMOS FET, TFET, SET, молекулярные и другие
· Интегральные устройства памяти, DRAM, ReRAM, FeRAM
· Магнитные микро- и наноструктуры, приборы спинтроники
· Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
· Приборы оптоэлектроники, фотоники
· Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)
· Моделирование
Технологии и перспективное технологическое оборудование для производства приборов микро- и наноэлектроники:
· Суб-65 нм литография: DUV, иммерсионная, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
· Front-End of Line (FEOL) процессы для технологии УБИС
· Back-End of Line (BEOL) процессы для технологии УБИС
· Технологии получения 2D материалов (графен, MoS2, WS2 и другие)
· Технологии создания МЭМС и НЭМС
· Технологии создания сверхпроводящих приборов
Метрология:
· In situ методы мониторинга технологических процессов
· Методы контроля, диагностики и характеризации микро- и наноструктур
Квантовая информатика:
· Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
· Квантовые измерения
· Квантовые алгоритмы
· Квантовая связь
Организаторы и спонсоры:
· Физико-технологический институт, Москва, Россия
· АО "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники", Зеленоград, Россия
· Российский фонд фундаментальных исследований, Москва, Россия
· Российская академия наук, Отделение нанотехнологий и информационных технологий
· Научный Совет РАН по физическим и химическим основам полупроводникового материаловедения
· SPIE – The International Society for Optical Engineering, USA - the publisher of the Conference proceedings
· Институт физики полупроводников, Новосибирск, Россия
· Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия
· Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
· TechnoInfo Ltd., Wembley, UK
· Компания НИКС, Москва, Россия
· ЗАО "НТО" (SemiTEq), Санкт-Петербург, Россия