Начальник лаборатории НИИМЭ Ирина Кирюшина выступила с докладом на конференции MNE-2019
30.09.2019
Начальник лаборатории жидкостных химических и электрохимических процессов отдела разработки технологических процессов Ирина Кирюшина приняла участие в международной конференции по Микро- и наноинжинирингу MNE-2019, которая проводилась с 23 по 26 сентября в г. Родос. Конференция была посвящена производству в микро- и наноприборов и технологиям, которые используются для этих производств, а также применению разработанных микро/нано структур, приборов и микросистем в электронике, фотонике, энергетике, окружающей среде, химии и науках, связанных с жизнью и здоровьем человека.
Программа конференции включала в себя четыре секции:
«Формирование нанорельефа», «Производство наноразмерных структур и функциональных наноструктурированных поверхностей», «Наноэлектроника и другие приборы, сенсоры и микросистемы», «Лаборатория на кристалле с применением для наук, связанных с жизнью и здоровьем, химией, безопасностью пищевых продуктов и окружающей среды». Ирина Кирюшина представила доклад «Silicon oxide compatible etching process for oxynitride and silicon nitride».
Участники конференции обсудили перспективы развития микроэлектроники в ближайшие несколько лет: разработку новейших переключателей (мемристоров), комбинированных приборов (кроссбаров), 3D-технологии (DSA или наноимпринтная литография), нейроморфную архитектуру и архитектуру, толерантную к дефектам, а также ньюморфную логика. Также были показаны возможности комбинации КМОП-технологии с фотоникой, где для решения проблем шероховатости стенок были предложены легко реализуемые процессы ПХТ, а затворы предлагалось запечатывать в объём с жидкостью.
MNE-2019 – 45-я конференция по Микро- и Наноинжинирингу в серии конференций, стартовавших в Кембридже в 1975 году и проходящих поочерёдно каждый год в различных городах Европы.
Программа конференции включала в себя четыре секции:
«Формирование нанорельефа», «Производство наноразмерных структур и функциональных наноструктурированных поверхностей», «Наноэлектроника и другие приборы, сенсоры и микросистемы», «Лаборатория на кристалле с применением для наук, связанных с жизнью и здоровьем, химией, безопасностью пищевых продуктов и окружающей среды». Ирина Кирюшина представила доклад «Silicon oxide compatible etching process for oxynitride and silicon nitride».
Участники конференции обсудили перспективы развития микроэлектроники в ближайшие несколько лет: разработку новейших переключателей (мемристоров), комбинированных приборов (кроссбаров), 3D-технологии (DSA или наноимпринтная литография), нейроморфную архитектуру и архитектуру, толерантную к дефектам, а также ньюморфную логика. Также были показаны возможности комбинации КМОП-технологии с фотоникой, где для решения проблем шероховатости стенок были предложены легко реализуемые процессы ПХТ, а затворы предлагалось запечатывать в объём с жидкостью.
MNE-2019 – 45-я конференция по Микро- и Наноинжинирингу в серии конференций, стартовавших в Кембридже в 1975 году и проходящих поочерёдно каждый год в различных городах Европы.